Delegation mit Riesaer Beteiligung beim Halbleiter-Forschungsinstitut IMEC in Leuven

Am 18. Juni besuchte eine Delegation der BA Sachsen das Halbleiter-Forschungsinstitut IMEC in der Stadt Leuven in Belgien. Prof. Lauwereins vom IMEC empfing uns herzlich und wir starteten sofort mit interessanten Vorträgen über die brandaktuellen Entwicklungen in der Chip-Industrie. Das IMEC arbeitet mit den Suppliern der Chip-Industrie wie ASML, TEL, AMAT und anderen namhaften Herstellern der kompliziertesten Maschinen und entwickeln sowohl die Technologie als auch die Tools acht Jahre im Voraus, also nach der Moorschen Regel sind sie vier Chip-Technologien weiter. Momentan wird an der 1nm-Technologie (Gatelänge) geforscht. Dabei wird mit einer Wellenlänge von 13,5nm (extremes UV) lithographisch belichtet. Aufgrund der starken Absorption kommen keine Linsen mehr zum Einsatz, sondern es wird mit Hohlspiegeln und unter Hochvakuum gearbeitet. Während der Besichtigung des Reinraumes konnten wir einen Blick u.a. auf diese neuen ASML-Scanner werfen. Beeindruckend waren auch die Lüftungsanlage, das Kellergeschoss sowie das Gaskabinett des Reinraumes.

Am Abend lud uns Prof. Lauwereins zur Stadtbesichtigung ein, wobei wir die Sehenswürdigkeiten (Rathaus, Universitätsbibliothek, Kirche) der wunderschönen Altstadt von Leuven betrachten durften.

Es fand ein reger fachlicher Austausch zwischen der sächsischen Delegation und den belgischen Gastgebern statt. Insgesamt ist das Ziel, die vielen Chipfabriken und Supplier in Sachsen (z.B. geplante TSMC-Ansiedelung in Dresden) mit Fachkräften zu versorgen. Viele dieser Firmen der Mikroelektronik-Branche sind bereits Praxispartner der BA Sachsen, wo zahlreiche Studenten bereits erfolgreich ausgebildet wurden. Zukünftig soll diese Zusammenarbeit weiter intensiviert werden.